薄膜厚度測量分為在線測試與非在線測試兩種，最早用于薄膜厚度測量的是非在線測厚技術。之后，隨著射線技術的不斷發展逐漸研制出與薄膜生產線安裝在一起的在線測厚設備。上個世紀60年代在線測厚技術就已經有了廣泛的應用，現在更能夠檢測薄膜某一涂層的厚度。在線測厚技術與非在線測厚技術在測試原理上完全不同，在線測厚技術一般采用射線技術等非接觸式測量法，非在線測厚技術一般采用機械測量法或者基于電渦流技術或電磁感應原理的測量法，也有采用光學測厚技術、超聲波測厚技術的。

       1.在線測厚較為常見的在線測厚技術有β射線技術，X射線技術和近紅外技術。

       1.1β射線技術β射線技術是最先應用于在線測厚技術上的射線技術，在上世紀60年代就已經廣泛用于超薄薄膜的在線厚度測量了。它對于測量物沒有要求，但β傳感器對溫度和大氣壓的變化、以及薄膜上下波動敏感，設備對于輻射保護裝置要求很高，而且信號源更換費用昂貴，Pm147源可用5-6年，Kr85源可用10年，更換費用均在6000美元左右。

        1.2X射線技術這種技術極少為薄膜生產線所采用。X光管壽命短，更換費用昂貴，一般可用2-3年，更換費用在5000美元左右，而且不適用于測量由多種元素構成的聚合物，信號源放射性強。X射線技術常用于鋼板等單一元素的測量。

       1.3近紅外技術近紅外技術在在線測厚領域的應用曾受到條紋干涉現象的影響，但現在近紅外技術已經突破了條紋干涉現象對于超薄薄膜厚度測量的限制，完全可以進行多層薄膜總厚度的測量，并且由于紅外技術自身的特點，還可以在測量復合薄膜總厚度的同時給出每一層材料的厚度。近紅外技術可用于雙向拉伸薄膜、流延膜和多層共擠薄膜，信號源無放射性，設備維護難度相對較低。

       1.4在線測厚能夠以最快的速度獲取厚度測試數據，通過數據分析，及時調整生產線的參數，縮短開車時間。但是在線測厚設備必須配備與生產線相匹配的掃描架，這在一定程度上限制了在線測厚設備的重復利用。而且由于薄膜生產線往往需要長期連續工作，因此相應的在線測厚設備也就必須長期工作。在設備的價格上，在線測試設備一般要比非